水热法制备ITO薄膜的研究

职利; 徐华蕊; 朱归胜; 周怀营

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水热法制备ITO薄膜的研究

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摘要

以铟锡氯化物为原料,采用水热法在玻璃基片上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜,并利用X射线衍射(XRD)、能谱分析(EDS)、扫描电子显微镜(SEM)等手段对薄膜的相结构、化学组成及形貌进行了表征,研究了水热温度和时间等条件对ITO薄膜光吸收特性的影响.结果表明,水热法制备的ITO薄膜呈体心立方多晶结构且均匀、致密.薄膜在可见光区透射比可达98.2%,具备低成本大规模制备ITO薄膜的潜力.

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来源
《材料导报》 |2006年第5期|136-138|共3页
作者
职利; 徐华蕊; 朱归胜; 周怀营;
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作者单位

桂林电子工业学院信息材料科学与工程系,桂林,541004;

桂林电子工业学院信息材料科学与工程系,桂林,541004;

桂林电子工业学院信息材料科学与工程系,桂林,541004;

桂林电子工业学院信息材料科学与工程系,桂林,541004;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类合成树脂与塑料工业;
关键词
水热法; ITO薄膜; 光吸收性能;

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