微波液相沉积法制备二氧化钛薄膜

冯海涛; 王芬; 同小刚

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微波液相沉积法制备二氧化钛薄膜

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采用微波液相沉积法（MWLPD）,在低温下制备出了性能优异的锐钛矿型TiO2薄膜。通过XRD、SEM分析手段研究了薄膜和粉体的结晶度、晶粒尺寸、表面形貌等。实验结果表明,所得薄膜不仅具有良好的结晶形貌、表面形貌及可见光透过率,还具有特殊的表面凸起结构,能有效提高薄膜的比表面积,有助于提高TiO2薄膜的光催化性能。且整个制备过程无需热处理,成膜周期短,效率较高。

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来源
《材料导报》 |2006年第s1期|85-86|共2页
作者
冯海涛; 王芬; 同小刚;
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作者单位

陕西科技大学材料科学与工程学院;

陕西科技大学材料科学与工程学院;

陕西科技大学材料科学与工程学院咸阳712081;

咸阳712081;

咸阳712081;

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正文语种 chi
中图分类 TB383.2;
关键词
微波液相沉积法; TiO2薄膜; 低温制备;

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