首页> 中文期刊> 《材料导报》 >射频磁控溅射法制备TiO2薄膜的拉曼光谱

射频磁控溅射法制备TiO2薄膜的拉曼光谱

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用射频磁控溅射法制备了纳米TiO2薄膜,并应用显微拉曼光谱和原子力显微镜对薄膜进行了检测。通过拉曼光谱研究,一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构,另一方面对薄膜的生长方式提供了线索。

著录项

来源
《材料导报》 |2006年第s1期|89-90|共2页
作者
赵丽特; 叶勤; 丁瑞钦;
展开▼
作者单位

1. 五邑大学数理系 2. 暨南大学物理系;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TB383.2;
关键词
TiO2薄膜; 磁控溅射; 拉曼光谱; 晶体结构; 生长方式;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 射频磁控溅射法制备纳米TiO2薄膜的拉曼光谱分析 [J] . 吴奎 ,刘亚丽 ,胡毅 . 郧阳师范高等专科学校学报 . 2007,第006期
2. 射频磁控溅射法制备TiO2-xNX薄膜的结构性能研究 [J] . 冯磊 ,罗士雨 ,黄涛华 . 人工晶体学报 . 2008,第5期
3. 射频磁控溅射法制备TiO2-x薄膜及其光响应的研究 [J] . 陈朝凤 ,黄东升 ,李玉花 . 厦门大学学报（自然科学版） . 2007,第004期
4. 磁控溅射法制备TiO2薄膜的亲水性研究 [J] . 张娇 ,李政晏 ,孟广伊 . 沈阳工程学院学报（自然科学版） . 2017,第003期
5. 原子层沉积与磁控溅射法制备TiO2薄膜性能对比研究 [J] . 陈燕 ,佘秋明 ,吴爱林 . 人工晶体学报 . 2016,第6期
6. 射频磁控溅射法制备氧化锌薄膜的研究 [C] . 陈仁刚 ,邓金祥 ,崔敏 . 第十四届全国固体薄膜学术会议 . 2014
7. 射频磁控溅射法制备TiO2薄膜及其N掺杂改性TiO2-xNx薄膜研究 [A] . 冯磊 . 2008

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号