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纳米金刚石颗粒随CH4浓度生长的研究

         

摘要

利用等离子体增强热丝化学气相沉积.用CH4和H2为反应气体,在不同CH4浓度的情况下制备了纳米金刚石颗粒,并用高分辨扫描电子显微镜和显微Raman光谱仪对它们进行了表征。结果表明,纳米金刚石颗粒随CH4浓度的增大而增大。结合与CH4-H2等离子体有关的结果.对纳米金刚石颗粒随CH4浓度的生长进行了分析和讨论。

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