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BST铁电薄膜的制备及其性能的研究进展

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摘要

Ba1-xSrxTiO3铁电薄膜具有优良的介电性、铁电性、热释电性，得到了广泛的研究，近年来取得了很多进展。简介了BST材料的结构，并综述了BST薄膜的制备方法及BST薄膜的性能测试和影响铁电性能的几个因素。

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来源
《材料导报》 |2004年第F10期|P.301-303|共3页
作者
邱滟; 胡文成; 李元勋; 朱琳;
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作者单位

电子科技大学微电子与固体电子学院;

成都610054;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TM223;
关键词
BST铁电薄膜; 研究进展; Ba1-xSrxTiO3; BST薄膜; 热释电性; 铁电性能; 性能测试; 制备方法; 介电性;

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