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多晶体薄膜生长中的织构诱导与控制

         

摘要

综述了多晶体薄膜材料织构的诱导和控制方法、影响薄膜结晶过程中晶体取向的因素及不同生长条件下形成晶体择优取向的原因.讨论了目前多晶体薄膜织构控制研究中存在的问题和发展方向.

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