大面积铁电薄膜的MOCVD制备及铁电存储器的研制

王弘

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铁电薄膜材料具有优良的铁电、压电、热释电、电光及非线性光学等特性,特别与大规模集成电路相集成,研制各种集成铁电学器件,使得铁电薄膜材料越来越引人注目。已研制的器件有铁电存储器、热释电探测器、光波导、光调制器和微驱动器等,可广泛应用于微电子学、光电子学、集成光学、微机械学等领域。其中铁电存储器最具产业化前景。铁电存贮器具有下列突出的优点:(1)不挥发,断电后永久保存信息;(2)数据存取速度快,比EEPROM快4～5个数量级;(3)可重写次数达10^(10)。

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来源
《材料导报》 |2001年第2期|31-32|共2页
作者
王弘;
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作者单位

山东大学晶体材料国家重点实验室;

济南250100;

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正文语种 chi
中图分类 TP333.04;
关键词
铁电薄膜; 金属有机化学气相沉积; 制备; MOCVD; 铁电存储器;

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