离子注入技术及其在材料科学中的应用

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• 来源
  《材料导报》 |1997年第6期|7-10,30|共5页
• 作者

  白书欣; 张虹;

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• 作者单位

  国防科技大学材料工程与应用化学系;

  国防科技大学材料工程与应用化学系;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 金属复层保护;
• 关键词

  离子注入; IBED; 材料; 薄膜;