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功能薄膜的研究动向

         

摘要

概况近年来,随着科学技术的不断发展,特别是微电子学和高温工程学的显著进步,对材料提出了许多新的特殊功能(如耐高温,耐腐蚀,高强度,高硬度,耐磨损,光、电、磁等性能)的要求。为了满足这些要求,材料工作者一是着手研究材料內部的结构,如非晶、微晶、高完整性结晶等问题,二是着手研究材料表面性能,即材料表面技术。材料表面技术日益受到重视的原因,是由于现代技术对于材料多方面性能的要求,

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