大气压介质阻挡放电等离子体辅助原子层沉积氧化铝阻隔膜

魏海英; 郭红革; 秦莹莹; 周美丽; 陈强

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大气压介质阻挡放电等离子体辅助原子层沉积氧化铝阻隔膜

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为了研究纳米氧化铝对双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(BOPET)阻隔性能的影响,利用自行设计加工的大气压介质阻挡放电(DBD)等离子辅助原子层沉积(PAALD)设备,使用三甲基铝(TMA)和氧气等离子体(O_2)在厚度为120μm的BOPET上生长氧化铝(Al_2O_3)无机层。采用椭圆偏振仪、原子力显微镜、红外光谱仪、X射线光电子能谱分析和透湿仪等分别对氧化铝薄膜的厚度、表面形貌、成分和水蒸气透过率等进行测量和表征。结果表明,大气压DBD等离子体辅助沉积Al_2O_3薄膜具有ALD生长特性,生长速率为0.27nm/周期,高于在低压下由等离子体辅助ALD沉积的Al_2O_3的生长速率;生长的氧化铝薄膜结构致密、表面粗糙度小,薄膜成分较纯;其水蒸气透过率(WVTR)由PET原膜的3.17g/(m^2·d)低至0.05g/(m^2·d)。

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来源
《材料导报》 |2018年第a02期|311-314|共4页
作者
魏海英; 郭红革; 秦莹莹; 周美丽; 陈强;
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作者单位

齐鲁工业大学印刷与包装工程学院;

山东工艺美术学院视觉传达设计学院;

北京印刷学院印刷与包装工程学院;

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正文语种 chi
中图分类其他;
关键词
原子层沉积; 聚对苯二甲酸乙二醇酯; 氧化铝; 水蒸气透过率;

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