氮化硅粉体的微波合成

杨军; 夏广斌; 彭虎; 李志杰

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氮化硅粉体的微波合成

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以硅粉为原料,利用微波加热的方法制备以β-Si3N4为主体的氮化硅粉体,研究了氮化温度、添加稀释刺和添加NH4HCO3对氮化物相的影响。结果表明:微波合成氮化硅在1380℃反应得到的相组成为α-Si3N4和B-Si3N4,其中以形貌呈柱状或棒状的β-Si3N4为主体。讨论了微波合成氮化硅能够在较低温度下生成β-Si3N4的原因。添加稀释剂和NH4HCO3有助于硅粉的完全氮化。对硅粉直接氮化的热力学特征进行分析,结果显示提高温度并不利于Si3N4粉体的合成。

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来源
《材料导报》 |2007年第s2期|127-129|共3页
作者
杨军; 夏广斌; 彭虎; 李志杰;
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作者单位

长沙隆泰微波热工有限公司;

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正文语种 chi
中图分类基础理论;
关键词
微波; 氮化硅; β-Si3N4; 热力学分析;

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