显微硬度计测试NiTi SMA薄膜与PZT基体结合力的分析

何烜坤; 王金钢

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显微硬度计测试NiTi SMA薄膜与PZT基体结合力的分析

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通过磁控溅射在锆钛酸铅陶瓷(PZT)基体表面沉积一定面积的NiTi SMA薄膜,用显微硬度测试分析薄膜与PZT基体间的结合力.结果表明:随沉积膜宽度增加,NiTi SMA薄膜与PZT基体的结合力减小;膜宽L＜3mm的NiTi SMA薄膜,其膜基结合力最高达351 N/mm2,比膜宽L≥3mm的结合力高2倍多.

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来源
《材料研究与应用》 |2017年第2期|132-134,140|共4页
作者
何烜坤; 王金钢;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所质检中心,天津300220;

中国电子科技集团公司第四十六研究所质检中心,天津300220;

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正文语种 chi
中图分类金属－非金属复合材料;
关键词
维氏硬度; NiTi SMA薄膜; PZT基体; 结合力;

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