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影响金属薄膜沉积初期因素的有限单元法模拟

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摘要

利用有限单元法对影响金属薄膜沉积初期的因素进行了计算机模拟.按膜料为Pt、Pt-Ru、Pt-Ti、Pt-Ni、Pt-Al等五种模式,采用刚性球入射到C或Si基底,重点研究了沉积原子的半径差异比、沉积原子能量和原子入射角等参数对薄膜沉积的影响,同时检验了有限元方法在微观领域中的合理性和适用性.

著录项

来源
《材料科学与工艺》 |2007年第2期|290-293|共4页
作者
宋鹏; 陆建生; 周洁; 张德丰; 杨滨;
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作者单位

昆明理工大学,材料与冶金工程学院,云南,昆明,650093;

昆明理工大学,材料与冶金工程学院,云南,昆明,650093;

昆明理工大学,材料与冶金工程学院,云南,昆明,650093;

昆明理工大学,材料与冶金工程学院,云南,昆明,650093;

昆明贵金属研究所,云南,昆明,650221;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
金属薄膜; 沉积因素; 有限单元法; 计算机模拟;

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