改性金刚石膜的形貌、结构和附着性能

黄元盛; 邱万奇; 罗承萍; 黄彩娥

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改性金刚石膜的形貌、结构和附着性能

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为了提高金刚石膜/基附着力,通过氧辅助使高温钨丝蒸发,在基底表面与碳氢基团反应生成纳米碳化钨,从而得到金刚石和纳米碳化钨混合的改性金刚石膜.用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和压痕法研究了改性金刚石膜的形貌、结构和附着力性能.结果表明,碳钨化合物以纳米相存在于改性金刚石膜中.碳钨化合物的存在使改性金刚石膜的硬度下降,但是适当的碳钨化合物能使膜/基附着力性能得到较大提高.当氧气通入量为1.2sccm时,膜/基附着力性能最好.

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来源
《材料科学与工艺》 |2006年第1期|109-112|共4页
作者
黄元盛; 邱万奇; 罗承萍; 黄彩娥;
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作者单位

韶关学院,机电系,广东,韶关,512005;

华南理工大学,机械工程学院,广东,广州,510640;

华南理工大学,机械工程学院,广东,广州,510640;

韶关学院,机电系,广东,韶关,512005;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
改性金剐石膜; 化学气相沉积; 碳钨化合物; 附着力性能; 氧气;

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