非晶碳氢薄膜结构及光学间隙

刘东平; 李芳; 俞世吉; 马腾才

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非晶碳氢薄膜结构及光学间隙

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利用完全抑制网络结构(FCN)对氢化非晶碳(α-C :H)膜组成进行模拟计算,得出形成质密α-C:H膜条件是H、SP2C和SP3C在其三元相图中应在一个三角形区域内.大量实验数据表明,模拟结果与实验结果相当吻合.在α-C:H中主要存在氢、四面体碳、乙烯、苯环和双苯等结构,它们相对含量在三角形区域内变化.该理论模拟对薄膜光学间隙的实验分析给予了很好的解释.

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来源
《材料科学与工艺》 |2000年第2期|58-61|共4页
作者
刘东平; 李芳; 俞世吉; 马腾才;
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作者单位

大连理工大学三束国家重点实验室,辽宁,大连,116023;

辽宁师范大学化学系,辽,宁,大连,116029;

大连理工大学三束国家重点实验室,辽宁,大连,116023;

大连理工大学三束国家重点实验室,辽宁,大连,116023;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
氢化非晶碳膜; 完全抑制网络结构; 光学间隙;

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