求解混流集束型装备调度问题的差分进化算法

李林瑛; 卢睿

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求解混流集束型装备调度问题的差分进化算法

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针对带滞留时间约束的混流集束型晶圆制造装备调度问题,为了优化晶圆加工排序和机械手搬运作业排序,提出了改进差分进化算法.通过定义机械手搬运作业,将双排序问题转换为单排序问题,并将其应有到染色体编码中;设计基于禁止区间法的启发式构造算法以生成初始种群,避免了不可行染色体的产生;给出可行解必须满足的条件,将其应用到差分变异和差分交叉算子设计中,避免冗余迭代和陷入局部最优等现象.与差分进化算法、遗传禁忌混合算法、粒子群算法的仿真实验比较,验证了提出算法的有效性和鲁棒性.

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来源
《数学的实践与认识》 |2020年第22期|167-178|共12页
作者
李林瑛; 卢睿;
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作者单位

1. 大连外国语大学语言智能研究中心 2. 辽宁警察学院公安信息系;

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正文语种 chi
中图分类人工智能理论;半导体器件制造工艺及设备;
关键词
集束型装备; 晶圆制造; 差分进化算法; 混流加工; 滞留时间约束;

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