新型SAW谐振式微加速度计的设计

刘骏跃; 陈明

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提出了一种基于静电力负反馈、并可进行开/闭环切换的新型加速度计,它既能保护石英悬臂梁避免其疲劳或断裂,又能确保加速度计具有一定的测量范围和灵敏度.介绍了该新型加速度计的基本结构和工作原理.分析了电容器中静电力的非线性特征,给出了线性化静电力的实现方案及其控制器设计方法.最后,指出这一新型SAW加速度计的优越性.

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来源
《测控技术》 |2005年第1期|8-10|共3页
作者
刘骏跃; 陈明;
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作者单位

西北工业大学,陕西,西安,710072;

西北工业大学,陕西,西安,710072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类力学量测量仪表;
关键词
微型加速度计; 静电力; 开/闭环切换;

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