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自动PLA微力学结构动态参数测试系

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基于锁相放大技术（PLA）和真空度自动控制技术设计了一种有很大实践意义的微力学结构动态参数测试系统。作为例子，给出了这套系统测得的Si谐振梁的非线性强迫振动（硬弹簧特性）在谐振点附近的从低频向高频扫描的幅频和相频曲线。

著录项

来源
《测控技术》 |1999年第11期|4-8|共5页
作者
张洮; 崔大付; 李自高; 陈德勇;
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作者单位

中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH－39;
关键词
微力学结构; 真空度自动控制; 参数测试; 微机电;

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