一个基于直方图的纳米尺度线宽计算模型

著录项

• 来源
  《计量技术》 |2004年第3期|3-6|共4页
• 作者

  王凌; 赵学增; 褚巍; 肖增文; 王飞;

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• 作者单位

  哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 半导体技术;
• 关键词

  纳米线宽; 计算模型; 直方图; 原子力显微镜;