一种基于图像处理的半导体刻线边缘粗糙度的确定方法

李洪波; 赵学增; 肖增文; 褚巍; 王凌

首页> 中文期刊> 《计量技术》 >一种基于图像处理的半导体刻线边缘粗糙度的确定方法

一种基于图像处理的半导体刻线边缘粗糙度的确定方法

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

随着半导体技术的不断发展,半导体刻线临界尺寸不断降低,线边缘粗糙度对元件性能的影响越来越大.本文综合运用图像处理中的直方图图像描述、阈值化描述以及Sobel算子提取半导体刻线的边缘,并根据边缘计算了粗糙度.最后给出了一个样本的实际测量结果并加以分析,结果表明这一方法可以用来测量和分析临界尺寸刻线边缘粗糙度.

著录项

来源
《计量技术》 |2004年第9期|3-5|共3页
作者
李洪波; 赵学增; 肖增文; 褚巍; 王凌;
展开▼
作者单位

哈尔滨工业大学,机电学院,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,机电学院,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,机电学院,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,机电学院,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,机电学院,哈尔滨,150001;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种结构材料;
关键词
线宽; 边缘提取; 线边缘粗糙度; 曲线拟合;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于AFM的刻线边缘粗糙度幅值与空间频率的表征方法 [J] . 李宁 ,赵学增 ,褚巍 . 纳米技术与精密工程 . 2008,第005期
2. 使用原子力显微镜测量刻线边缘粗糙度的影响因素 [J] . 赵学增 ,李宁 ,周法权 . 光学精密工程 . 2009,第004期
3. 一种基于图像处理的岩石裂隙粗糙度几何信息算法 [J] . 王卫星 ,杨记明 . 重庆邮电大学学报（自然科学版） . 2010,第004期
4. 半导体工业中临界尺寸线边缘粗糙度的测量 [J] . 李洪波 ,赵学增 ,褚巍 . 哈尔滨工业大学学报 . 2005,第005期
5. 一种基于计算机图像处理经典算法的染色体边缘检测方法 [J] . 王启欣 ,邓胜琳 . 天津农学院学报 . 2012,第001期
6. 一种基于图像处理的自适应边缘检测算法的研究 [C] . 张连民 ,王晓翠 . 中国航空学会制造专业分会辅机学组2012年度学术会议 . 2012
7. 基于原子力显微镜的半导体刻线边缘粗糙度的研究 [A] . 李宁 . 2005

一种基于图像处理的半导体刻线边缘粗糙度的确定方法

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅