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提高码盘、圆光栅均匀性的研究

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摘要

随着科技的发展,对码盘、圆光栅的线条数、均匀性要求越来越高,本文着重对码盘、圆光栅刻制中出现的均匀性问题进行分析,找出影响码盘、圆光栅均匀性的主要因素,提出了相应的改进措施.

著录项

来源
《计量技术》 |2004年第12期|17-19|共3页
作者
陈赟; 张红胜; 赵兴国;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033;

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正文语种 chi
中图分类拍摄技术;
关键词
码盘; 圆光栅; 均匀性;

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