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CCD用于高精度线纹分划检测系统的研究

         

摘要

本文介绍一种用线阵CCD作为图象传感器实现对条码型水准尺线纹发划精度的检测系统,叙述了以CCD、图象数字信号采集与处理接口电路、双频激光干涉仪为核心的高精度动态位移测量的原理与实现的方法。

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