微机电系统中悬臂梁固定端的应力分析

张燕娇; 苏继龙

首页> 中文期刊> 《机电工程技术》 >微机电系统中悬臂梁固定端的应力分析

微机电系统中悬臂梁固定端的应力分析

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

运用Ansys模拟软件对不同厚度的微悬臂梁在同一电压下(未达到吸合电压)进行静电力分析,得到悬臂梁固定端的应力大小,同时得到此应力与厚度的关系.再根据力学相关解析式对固定端进行力学分析,通过比较两种方法得到的结论,发现结论是相反的,因此得出弹性模量E是决定微观材料性能的重要因素,以及静电力作用下的微悬臂梁存在机电耦合作用,单纯的力学解析式是没法精确计算得出的.

著录项

来源
《机电工程技术》 |2011年第11期|96-99|共4页
作者
张燕娇; 苏继龙;
展开▼
作者单位

福建农林大学机电工程学院,福建福州350002;

福建农林大学机电工程学院,福建福州350002;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类各种型材的冷冲压工艺;
关键词
微悬臂梁; Ansys; 静电力; 应力; 解析公式;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 上切牙区双端悬臂梁种植固定桥的应力分析 [J] . 黄颖荷 ,张春元 ,聂二民 . 口腔颌面修复学杂志 . 2014,第004期
2. 射频微机电系统开关软磁悬臂梁微电镀工艺 [J] . 吴军民 ,汤学华 . 上海电机学院学报 . 2010,第004期
3. 无限长悬臂梁自由端受力偶作用下固定端应力分布的辛解法 [J] . 马晓辉 ,朱炳麒 . 自动化技术与应用 . 2015,第003期
4. 基于有限元的碳化硅微悬臂梁的应力分析 [J] . 杨汇鑫 . 现代工业经济和信息化 . 2014,第015期
5. ANSYS在两端固定厚壁管道应力分析中的应用 [J] . 隋之锋 ,郝点 ,陈海峰 . 贵州化工 . 2008,第006期
6. 几种悬臂梁固定端位移边界条件的比较研究 [C] . 孙振冬 ,高阳 . 北京力学会第20届学术年会 . 2014
7. 保留游离端残根固定桥修复的三维有限元应力分析研究 [A] . 杜发亮 . 2006

微机电系统中悬臂梁固定端的应力分析

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅