基于气浮导轨的光栅尺动态检测系统设计与误差分析

著录项

• 来源
  《机电工程技术》 |2021年第8期|138-141|共4页
• 作者

  徐全坤; 阚侃; 黄振宇; 罗旭东; 梁平; 张勇;

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• 作者单位

  广东省现代几何与力学计量技术重点实验室 广州 510405;

  广东省计量科学研究院 广州 510405;

  广东省现代几何与力学计量技术重点实验室 广州 510405;

  广东省计量科学研究院 广州 510405;

  广东省现代几何与力学计量技术重点实验室 广州 510405;

  广东省计量科学研究院 广州 510405;

  广东省现代几何与力学计量技术重点实验室 广州 510405;

  广东省计量科学研究院 广州 510405;

  广东省现代几何与力学计量技术重点实验室 广州 510405;

  广东省计量科学研究院 广州 510405;

  广东省现代几何与力学计量技术重点实验室 广州 510405;

  广东省计量科学研究院 广州 510405;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 长度计量仪器;气压传动;
• 关键词

  光栅尺; 动态误差; 气浮导轨; 精度分析;