基于MEMS技术的三维测量系统研究

杨学文; 敖良忠; 马瑞阳

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cqvip:通过结合光学MEMS(Micro Electro-Mechanical System)技术对三维测量系统进行了深入研究,分析了基于MEMS的三维测量系统测量原理,完成了三维测量系统核心器件选择及测量系统的搭建,对三维测量系统的三维结构进行了设计,并对安装壳体三维结构图、器件安装板安装示意图以及测量系统整体装配效果图进行了绘制。

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来源
《机械工程与自动化》 |2020年第1期|171-173176|共4页
作者
杨学文; 敖良忠; 马瑞阳;
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作者单位

中国民用航空飞行学院航空工程学院四川广汉 618307;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类数据收集和处理系统;
关键词
MEMS; 三维测量; 相移法;

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