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杨涓; 王阳; 孟志强; 李鹏飞;
西北工业大学 航天学院,西安 710072;
电推进; 郎缪尔探针诊断; 电子回旋共振;
机译:氢等离子体中压微波放电的静电探针诊断
机译:电子回旋共振离子源等离子体室的研究,使用网络分析仪作为负载腔探针
机译:利用永久磁铁产生的磁场对电子回旋共振离子源中的等离子体进行探针诊断
机译:a-Si:H和a-SiC:H薄膜沉积的电子回旋共振和辉光放电等离子体的发射诊断
机译:在环尖离子推进器中使用静电探针表征放电等离子体结构并确定放电阴极腐蚀机理。
机译:介电阻挡放电等离子体和大气压等离子体射流处理后溶菌酶的结构和功能分析
机译:在高压气体等离子体中使用静电探针的局限性:在低等离子体温度下亚稳态的诊断和影响
机译:基于静电探针的JFT-2m托卡马克边界等离子体离子诊断系统的研制
机译:-被动电容耦合静电CCE探针装置,用于检测等离子体处理室中的原位电弧放电事件
机译:平面型等离子体诊断装置,掩埋平面型等离子体诊断装置的晶圆型等离子体诊断装置,埋设了平面型等离子体诊断装置的静电卡盘
机译:-用于检测等离子体处理室中等离子体不稳定度的无源电容耦合静电CCE探针布置
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