用于蒙皮外表面空气流测量的MEMS微型压力传感器

陈爽; 李晓莹; 马炳和; 苑伟政

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用于蒙皮外表面空气流测量的MEMS微型压力传感器

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为实现飞行器蒙皮外表面空气流的分布式压力检测,设计了基于微机电系统(MEMS)技术的光学压力微型传感器.传感器敏感元件主体结构采用单晶硅的法布里-帕罗标准具,并通过光纤与发光二极管和光电探测器等光学元件相连.确定了MEMS微型传感器的关键结构与尺寸,并对压力敏感膜片的变形及反射率等进行了理论计算和行为仿真,结果表明达到预期的设计目标.该传感器具有精度高、抗电磁干扰、尺寸小、耗能低等优点.

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来源
《机械科学与技术》 |2005年第3期|312-314374|共4页
作者
陈爽; 李晓莹; 马炳和; 苑伟政;
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作者单位

西北工业大学,微/纳米系统实验室,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,西安,710072;

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正文语种 chi
中图分类压力仪表;
关键词
微机电系统; 微型压力传感器; 法布里-帕罗压力传感器;

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