广泛用于机床行业的SONY位移测量系统

卢国纲

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SONY位移传感器（直线位移传感器和角位移传感器）及其数字显示仪表组成的位移测量装置,主要用于机床、量仪的坐标位置测量;SONY位移传感器及其后续电路也作为数控系统坐标的位置反馈的功能部件。随着位移传感器的发展，促进了量仪和数显测量系统的发展和数控机床的发展。50年来位移传感器的测量分辨力也从5μm提升到1nm，机械加工精度也从1μm提高到0．01μm。

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来源
《金属加工：冷加工》 |2008年第6期|18-19|共2页
作者
卢国纲;
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作者单位

中国科学院自动化研究所;

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