数字干涉仪移相器PZT位移测量与标定

王圣文; 于瀛洁; 付烨

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数字干涉仪移相器PZT位移测量与标定

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干涉仪移相器的非线性会造成测量结果的不准确,因而对移相器非线性的测量和标定十分必要.本文提出了一种运用多普勒激光干涉仪测量PZT位移并进行标定的方法,该方法操作简单、结果精确,可以快速得到电压值与移相值的对应关系曲线,通过对曲线作非线性拟合并对电压值进行精密调整,完成移相器的精确标定.在改造后的干涉仪上对此标定方法进行验证,与Zygo干涉仪相比,相同元件下两者测量结果之差很小.

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来源
《计量与测试技术》 |2017年第10期|33-35,37|共4页
作者
王圣文; 于瀛洁; 付烨;
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作者单位

上海大学机电工程与自动化学院,上海200072;

上海大学机电工程与自动化学院,上海200072;

上海大学机电工程与自动化学院,上海200072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类位移观测;
关键词
移相器; PZT; 非线性; 位移测量; 标定;

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