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耐高温小型压差传感器的研制

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小型耐高温压差传感器主要用于高温状态下测量发动机活塞两腔压力差.采用SOS(硅-蓝宝石)材料制作硅压阻式压力敏感芯片,两只压力敏感元件,分别测量高压端和低压端的压力输出,再利用精密的信号处理电路,将微弱的电信号进行放大处理,实现标准的模拟信号输出.

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来源
《计量与测试技术》 |2013年第5期|11-12,14|共3页
作者
王香文;
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作者单位

广州城建职业学院,广东广州510925;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
差压传感器; SOS(硅-蓝宝石); 扩散硅; 压阻效应;

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