FAIMS用非对称方波RF电源系统的研制

杨吉; 唐飞; 王晓浩

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在FAIMS(High-field Asymmetric Waveform Ion Mobility Spectrometry)系统研究中,基于新型MEMS(Micro-Electro-Me-chanical-System)工艺加工的平板式迁移区需求,提出一个新型的FAIMS仪用高场非对称方波RF电源系统设计方案,以TMS320F2812为信号发生及控制核心,对逆变电路结构进行优化设计,并进行电磁兼容及电源完整性分析设计,很好的实现高场非对称方波电压波形输出。并在射频干扰下,对补偿电压进行准确采集。

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来源
《科技与创新》 |2010年第35期|180-181|共3页
作者
杨吉; 唐飞; 王晓浩;
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作者单位

中北大学电子测试技术国家重点实验室;

清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP216;
关键词
高场非对称方波; 半桥逆变; 电源完整性; 电磁兼容;

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