基于改进分水岭算法的硅片缺陷提取方法

胡雅颖; 齐鸿志; 张凤全

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基于改进分水岭算法的硅片缺陷提取方法

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为了提取硅片表面的缺陷,对其缺陷的提取技术进行了研究,提出了改进水分岭算法进行缺陷提取。该方法首先利用形态滤波对缺陷图像进行滤波,并对滤波后梯度图像进行平滑,在去除噪声的同时很好的保持物体轮廓和细节;为了克服分水岭算法的过度分割问题,利用区域强度准则和边界强度准则对过分割区域合并,很好的解决了过分割问题。实验表明,该方法可以提取精确且封闭的缺陷边缘轮廓,为进一步的缺陷特征量的提取奠定了基础。

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来源
《科技与创新》 |2009年第9期|296-297|共2页
作者
胡雅颖; 齐鸿志; 张凤全;
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作者单位

河北大学计算中心;

河北工业大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类数字处理;
关键词
图像处理; 缺陷检测; 形态滤波; 分水岭; 过分割;

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