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硅微加速度传感器阵列的低误差静态标定

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本文介绍了加速度传感器阵列的结构设计和工作原理,利用离心机的调心原理,实现了对加速度传感器阵列的低误差静态标定,给出了标定数据和分析结果。

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来源
《科技与创新》 |2007年第7期|173-175|共3页
作者
徐栋; 郭涛; 熊继军;
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作者单位

中北大学电子测试技术国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
加速度传感器; 阵列; 标定; 调心;

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