药物控释MEMS系统中微型泵的设计与仿真

陈敏; 苑国英; 蒋庄德

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药物控释MEMS系统中微型泵的设计与仿真

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本文探讨了一种医疗用微药物控释系统,对其关键器件-微型泵、微型阀进行了设计、建模和仿真.选取双金属片加热式膜片泵的模式,设计了泵的入口、泵腔、上下两片双金属加热膜片、多晶硅加热电阻、两个被动式微型阀、流体沟道和出口.全部工艺采用微型机电系统(MEMS)技术加工制作.为了确定所设计的微型泵的尺寸,对泵腔进行了模型分析,以使其在最大容积与最小的模型尺寸间达到最优.采用有限元分析法对电场热效应进行了仿真.基于仿真结果,进行了微型泵系统的加工制造.

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来源
《微电子技术》 |2003年第4期|34-38|共5页
作者
陈敏; 苑国英; 蒋庄德;
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作者单位

西安交通大学精密工程研究所,西安,710049;

西安交通大学精密工程研究所,西安,710049;

西安交通大学精密工程研究所,西安,710049;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP335.5+2;
关键词
药物控释系统; 微型泵; MEMS;

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