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高速CMOS八位总线驱动器（L82C82／83）的工艺研究

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介绍了２／２．５μｍ硅栅ＣＭＯＳ高速八位总线驱动器（Ｌ８２Ｃ８２／８３）的工艺技术，特别是工艺设计和工艺控制；探讨了关键工节的控制条件、方法及试验结果。

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来源
《微处理机》 |1997年第4期|12-15|共4页
作者
郭玉璞;
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作者单位

电子工业部东北微电子研究所;

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正文语种 CHI
中图分类 TN432.05;
关键词
CMOS; 集成电路; 总线驱动器; 工艺;

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