TD480高阻抗复合管科技攻关

徐士耕

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TD480高阻抗复合管是一种采用兼容工艺制作的双极－MOS组合晶体管，早期的研制样品其质量及可靠性未能满足军品用户的高标准要求，为此又进行大量研究工作，终于实现了从实验室样品向批量生产的高规格的军品的转化。本文提出了为实现高规格攻关目标而必须解决的问题，详细探讨了存在问题的失效机理，阐述了针对失效模型而提出的问题的措施，重新确定了全部工艺流水线的各工艺程序及工艺条件，用新工艺流程生产出的电路径中国电子产品可靠性与环境试验研究所进行多达二十一项各类考核，全部得以通过，标明TD480复合管质量达到新的水平，而可靠性达到了国内领选的六级水平，现该产品已在航天领域得到满意的应用。

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来源
《微处理机》 |1996年第1期|76-79|共4页
作者
徐士耕;
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作者单位

青岛半导体研究所;

青岛266071;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类半导体三极管（晶体管）;
关键词
离子注入; 晶体管; BIMOS; 高阻抗复合管;

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