用于MEMS变形镜的双电极压电厚膜致动器

马剑强; 李保庆; 张晋弘; 许晓慧; 褚家如

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提出了一种用于MEMS变形镜的双电极驱动的压电陶瓷(PZT)厚膜致动器.采用有限元方法分析致动器变形时的应力分布情况,优化了内外圈电极尺寸,制作了61单元六边形分布的致动器阵列.测试结果表明,致动器在100 V工作电压下的冲程约为6.6μm,谐振频率为58 kHz,位移迟滞为8%～9%,通过采用单边电压-位移曲线的策略有效降低了位移迟滞,并进一步提出了分时驱动的电路方案.

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来源
《纳米技术与精密工程（英文）》 |2012年第1期|20-23|共4页
作者
马剑强; 李保庆; 张晋弘; 许晓慧; 褚家如;
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作者单位

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系;

江苏省电力试验研究院有限公司;

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正文语种 chi
中图分类电子光学仪器;
关键词
变形镜; 压电陶瓷(PZT); 致动器; 双电极;

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