基于MEMS技术集成硅微棱镜耦合和微流道的近红外表面等离子体谐振芯片(英文)

耿照新; 季旭; 王玮; 李志宏

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为促进表面等离子体谐振(surface plasmon resonance,SPR)测试技术在片上的实现,提出硅基近红外SPR芯片,由硅微棱镜、金属膜和聚合物微流体通道组成.利用有掩膜和无掩膜各向异性湿法腐蚀加工出底角为25.24°的单微硅棱镜阵列,用有掩膜各向异性湿法腐蚀加工出底角为54.74°的双微硅棱镜阵列,利用聚合物的复制注塑技术加工得到微流体通道.在波长1,550,nm时进行仿真与实验测试,实验测得以空气、水和乙醇为测试介质的SPR角分别为16.75°、22.58°和22.72°,这些值比以玻璃棱镜加工SPR传感器测得的SPR角要小很多.通过实验表明,近红外SPR芯片可以实现表面等离子体谐振传感器微型化,进而推动微全分析系统的实现,降低其成本并提高其性能.

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来源
《纳米技术与精密工程（英文）》 |2009年第2期|132-136|共5页
作者
耿照新; 季旭; 王玮; 李志宏;
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作者单位

北京大学微电子学研究院;

中央民族大学信息工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类小型化、微型化;
关键词
表面等离子体谐振(SPR); 微流体; 近红外光; 硅棱镜;

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