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应用自差法测量物体表面粗糙度的研究

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本文研究了以He-Ne激光器为光源用以测量物体表面粗糙度的多端口探测自相干仪,它测量信号光与参考光的相位差而不受被测物体表面反射光强度变化的影响,这种三维测试相干仪能够获得亚毫微米的纵向分辨率.

著录项

来源
《哈尔滨师范大学自然科学学报》 |2003年第2期|46-49|共4页
作者
林维秋; 荆晓莉;
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作者单位

哈尔滨学院;

黑龙江省电子技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类物理学;
关键词
He-Ne激光器; 测量; 多端口自相干仪;

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