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气体质量控制器在薄膜气相沉积中的应用研究

         

摘要

cqvip:本文主要介绍了气体质量控制器的原理、结构,说明其在薄膜气相沉积应用中的标定、转换系数计算等问题,重点研究了一种质量流量计在挥发气体控制中恒温控制系统,给出了系统机构原理图,说明了质量控制器的改进及发展方向。

著录项

  • 来源
    《内江科技》 |2019年第6期|2247|共2页
  • 作者

    张琦; 于庆; 周杰;

  • 作者单位

    西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司;

    西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司;

    西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司;

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