纳米技术在半导体陶瓷气体传感器中的应用

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纳米技术是一门在纳米空间(0.1～100nm)内研究电子、原子和分子运动规律及特性,通过操作单原子、分子或原子团、分子团,以制造具有特定功能的材料或器件为最终目的一门技术。半导体陶瓷气体传感器具有灵敏度高、结构简单、价格便宜等优点,得到了迅速发展,有相当数量的产品,至今已成为一大体系。但这类传感器存在着选择性差、灵敏度和精度低、稳定性不高等问题,妨碍了它的应

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《中国新技术新产品》 |2001年第z1期|P.95-97|共3页
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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
陶瓷气体传感器; 纳米技术; 纳米材料; 半导体; 气敏材料; 灵敏度; 纳米粉体; 固相法; 量子尺寸效应; 液相法;

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