类金刚石薄膜膜基结合强度优化技术研究进展

郭栋; 张树玲; 甘志颖; 郭峰

首页> 中文期刊> 《宁夏工程技术》 >类金刚石薄膜膜基结合强度优化技术研究进展

类金刚石薄膜膜基结合强度优化技术研究进展

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

类金刚石膜是由sp2键合的石墨与sp3键合的金刚石组成的一类碳膜,具备石墨的润滑特性和金刚石的高硬度,在降低摩擦因数、耐磨等方面具有重要应用价值。但薄膜较大的残余应力以及膜基结合问题的存在,限制了其在机械、电子、医学等范围内的普遍应用。国内外研究表明,掺杂元素、生成过渡层、设计多层膜成为有效改善类金刚石薄膜膜基结合强度的关键技术。介绍了掺杂单一元素、多元素,生成过渡层、设计多层膜等技术在类金刚石薄膜成形、强化中的作用机理,以及使用过程中的优点,如低的摩擦因数和内应力、高的耐磨性、与基体良好的结合性和优越的高温性能等;归纳了这4类技术的不足和待完善之处。提出今后的研究可以向着超厚薄膜、多元素掺杂薄膜、软硬交替多层膜结构的设计发展。优化计算机系统软件,使薄膜形貌、膜厚检测技术更加成熟,这也是以后的研究重点。

著录项

来源
《宁夏工程技术》 |2022年第1期|84-91|共8页
作者
郭栋; 张树玲; 甘志颖; 郭峰;
展开▼
作者单位

青岛理工大学机械与汽车工程学院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜技术;摩擦与磨损;
关键词
掺杂元素; 内应力; 类金刚石膜; 结合力; 过渡层; 多层膜设计;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 金刚石薄膜膜基界面结合强度测量技术的研究进展 [J] . 简小刚 ,孙方宏 ,赵国伟 . 金刚石与磨料磨具工程 . 2002,第003期
2. 鼓泡法定量测量金刚石薄膜膜基界面结合强度的实验研究 [J] . 简小刚 ,孙方宏 ,陈明 . 金刚石与磨料磨具工程 . 2003,第004期
3. 钛过镀层对类金刚石薄膜的膜基结合力以及摩擦学性能的影响 [J] . 石志锋 ,黄楠 ,孙鸿 . 功能材料 . 2008,第008期
4. 金刚石薄膜与硬质合金刀具膜-基结合性能研究进展 [J] . 黄磊 ,王陶 ,唐永炳 . 集成技术 . 2017,第004期
5. 薄膜应力与类金刚石薄膜结合力改善的研究进展 [J] . 马燕飞 . 化工管理 . 2014,第015期
6. 高结合强度类金刚石膜的制备与性能研究 [C] . . 2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议 . 2008
7. 钛合金表面多层类金刚石薄膜结合强度及承载能力研究 [A] . 黄欣 . 2020

类金刚石薄膜膜基结合强度优化技术研究进展

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅