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北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统

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本文介绍了安装在北京同步辐射装置（BSRF）3B1束线上的自制同步辐射光束在线监测系统，对光束垂直位置，光斑均匀性及光刻曝光量（同步光积分光强）实现了在线监控，给出了实时在线测试结果。

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来源
《核电子学与探测技术》 |1992年第6期|337|共1页
作者
崔明启; 刘丽冰; 徐文轩;
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作者单位

中国科学院高能物理研究所;

北京100039;

中国科学院高能物理研究所;

北京100039;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类干法腐蚀工艺;
关键词
同步辐射; 光刻; X辐射; 监测;

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