多阴极金属等离子体源的特性及应用研究

著录项

• 来源
  《核技术》 |2011年第1期|18-21|共4页
• 作者

  解志文; 王浪平; 王小峰; 闫久春; 黄磊; 陆洋;

  展开▼
• 作者单位

  哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 等离子体物理的应用;薄膜测量与分析;
• 关键词

  多阴极等离子体源; 均匀性; 复合薄膜; 硬度;