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含氦纳米晶钛膜的PBS和XRD研究

         

摘要

为研究不同晶粒尺寸纳米钛膜的储氦行为,在He-Ar混合气体下,用磁控溅射方法沉积纳米晶钛膜,利用PBS(proton backscattering)、XRD(X-ray diffraction)对膜的氦含量和微观结构及晶粒大小进行了研究.结果表明:在其它实验参数不变的情况下,当沉积温度从60℃升至350℃时得到均匀分布的含氦量(指原子百分比)从38.6%逐渐降至9.2%的钛膜,其平均晶粒由13.1 nm增加到44.2 nm;当He/Ar分压比分别为6、10、15、19时得到均匀分布的含氦量分别为17.6%、47.2%、48.3%和38.6%的钛膜.He的引入引起(002)晶面衍射峰向小角度移动,但(100)晶面衍射峰不变,即晶胞参数c增加,a不变化;随膜中He含量的增加,衍射峰展宽,晶粒变小,显示出氦的掺入有抑制纳米晶粒长大的趋势.

著录项

  • 来源
    《核技术》 |2008年第1期|58-62|共5页
  • 作者单位

    四川大学原子核科学技术研究所,辐射物理及技术教育部重点实验室,成都,610064;

    四川大学原子核科学技术研究所,辐射物理及技术教育部重点实验室,成都,610064;

    四川大学原子核科学技术研究所,辐射物理及技术教育部重点实验室,成都,610064;

    四川大学原子核科学技术研究所,辐射物理及技术教育部重点实验室,成都,610064;

    中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,321900;

    四川大学原子核科学技术研究所,辐射物理及技术教育部重点实验室,成都,610064;

    四川大学原子核科学技术研究所,辐射物理及技术教育部重点实验室,成都,610064;

    四川大学原子核科学技术研究所,辐射物理及技术教育部重点实验室,成都,610064;

    中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,321900;

    中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,321900;

    中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,321900;

    四川大学原子核科学技术研究所,辐射物理及技术教育部重点实验室,成都,610064;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 其他材料;原子能技术的应用;
  • 关键词

    磁控溅射; 纳米晶钛膜; 晶粒大小; 氦含量;

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