载能团簇直接诱发硅单晶转变成纳米晶结构

著录项

• 来源
  《核技术》 |2005年第5期|333-336|共4页
• 作者

  缪竞威; 师勉恭; 王培禄; 王虎; 杨朝文; 缪蕾; 朱洲森; 郑思孝; 刘仲阳; 廖小东;

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• 作者单位

  四川大学原子核科学技术研究所,教育部辐射物理及技术重点实验室,成都,610064;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 粒度分布;薄膜物理学;
• 关键词

  氮团簇注入; 硅单晶; 纳米晶结构; 红外吸收谱;