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经软X射线辐照的InP的表面损伤态

         

摘要

采用X光激发光电子能谱(XPS)对经同步辐射软X光辐照的InP表面进行了分析.实验结果表明:InP表面辐照损伤与辐照X光的能量及剂量有关,尤其是具有近P原子K壳层共振吸收能量的软X光辐照与其它X射线辐照相比,其结果有所不同.文中就实验结果的机制进行了初步探讨.

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