In＋离子注入蓝宝石（α—Al2O3单晶）的表面改性研究

谢东珠; 朱德彰

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In＋离子注入蓝宝石（α—Al2O3单晶）的表面改性研究

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研究了〈０００１〉和〈１＾－２１０〉晶向蓝宝石（α－Ａｌ２Ｏ３单昌）在注入３６０ｋｅＶ、１×１０＾１６ｃｍ＾－２或１００ｋｅＶ、６×１０＾１６ｃｍ＾－１的Ｉｎ＾＋后产生的损伤、注入层的性能变化和退火行为。实验结果表明，退火过程中损伤的恢复和Ｉｎ的分布与退火气氛有关：在１００ｋｅＶ、６×１０＾１６ｃｍ＾－２的Ｉｎ＾＋注入时，注入层电阻率降低了１０个量级，大小为６．８×１０＾３Ω·ｃｍ，表面损伤层的显

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来源
《核技术》 |1998年第9期|513-518|共6页
作者
谢东珠; 朱德彰;
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作者单位

不详;

不详;

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正文语种 CHI
中图分类人造刚玉;
关键词
离子注入; 蓝宝石; 晶格损伤; 表面改性;

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