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离子法向轰击单元素靶溅射产额的解析估算

         

摘要

给出了计算离子法向轰击单元素靶溅射产额的通用解析公式,将该解析公式估算值、蒙特卡罗模拟值与相应实验数据进行了比较,并用Wilcoxon配对符秩检验法研究了上述结果的显著性差异。

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