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自制溅射负离子源电离器的材料,结构,制作及使用情况

         

摘要

介绍自制溅射型负离子源及其关键部件——电离器的材料、结构、制作及使用情况。得到碳束C^-总流强>780μA,硅束Si-250μA.此电离器先后在2×1.7MV串列加速器的进口溅射源及200kV离子注入机自制溅射源上使用,寿命3000h。

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